클린룸용 진공 펌프 | 오일프리 산업 솔루션

말레이시아에 위치한 반도체 파운드리에서 탄화수소 오염 없이 클래스 10 청정실 진공을 유지해야 했을 때, 당사의 청정실 드라이 진공 펌프—다단계 HEPA 필터링과 PTFE 코팅 로터를 특징으로 함—는 0.3 µm 이상 입자를 99.97% 포집하면서, TÜV 인증 ISO 8573-1 클래스 0 순도로 검증된 ‘제로 오일 증기 역류’ 성능을 제공하였다. 기존 오일 실드 펌프는 열화된 오일이 오염물질을 챔버 내부로 재순환시키는 데 반해, 당사의 첨단 필터링 기술이 적용된 드라이 스크류 방식은 입자 이동을 물리적으로 차단하여, 단일 오염 웨이퍼 배치로 인한 평균 230만 달러 손실을 방지한다. 모든 장치는 CE 인증을 획득하였으며, ISO 9001 기준 하에 조립되고, 실시간 필터 압력차를 모니터링하는 24/7 IoT 시스템으로 지원되어, 효율 저하 전에 사용자 팀에 자동 알림을 전송한다.

스위스의 제약 연구소가 동결건조 바이알에서 미세한 결함을 발견했을 때, 근본 원인 분석 결과 고진동 펌프로 인한 미묘한 압력 변동이 원인이었음이 밝혀졌다. 바닥을 통해 전달된 각 진동 펄스가 정밀한 충전 공정을 방해할 정도였다. 당사의 클린룸 드라이 진공 펌프는 능동형 자기부상 베어링과 복합 음향 차폐 케이싱을 채택하여 단 58 dB(A)의 소음 수준과 1.0 mm/s 이하의 진동 수준으로 작동하며, 바닥을 통한 진동 펄스를 완전히 제거한다. 기존 벨트 구동식 펌프는 75 dB(A) 이상의 소음을 발생시키고 부피가 큰 진동 차단 장치를 필요로 하지만, 당사의 직접 구동 방식은 정밀 균형 조정된 로터를 적용해 부드럽고 속삭이는 듯한 작동을 보장하므로 인근 민감한 계측기기의 성능에 영향을 주지 않는다. 모든 제품은 CE 인증을 획득하였으며, ISO 9001 기준에 따라 조립되고 ISO 21360-1 기준으로 시험 검증된다. 또한 24시간 연속 IoT 모니터링을 통해 진동 스펙트럼을 실시간으로 추적함으로써 베어링 마모를 공정에 영향을 주기 전에 사전 예측할 수 있다.