Vakuumpumpe für Reinraum | Ölfreie industrielle Lösungen

Als eine Halbleiterfabrik in Malaysia ein Vakuum für einen Reinraum der Klasse 10 ohne Kohlenwasserstoffkontamination aufrechterhalten musste, erzielte unsere Reinraum-Trocken-Vakuumpumpe – mit mehrstufiger HEPA-Filterung und PTFE-beschichteten Rotoren – eine Abscheidungsrate von 99,97 % für Partikel mit einer Größe von ≥ 0,3 µm und gewährleistete gleichzeitig ein Null-Rückströmen von Öldampf, bestätigt durch die TÜV-zertifizierte ISO 8573-1-Klasse-0-Reinheit. Im Gegensatz zu herkömmlichen ölbetriebenen Pumpen, bei denen verschlechertes Öl Verunreinigungen wieder in die Kammer zurücktransportiert, verhindert unsere trockene Schraubentechnologie mit modernster Filterung physikalisch die Migration von Partikeln und vermeidet so den durchschnittlichen Verlust von 2,3 Mio. USD pro kontaminierter Wafercharge. Jedes Gerät ist CE-zertifiziert, unter ISO 9001-geregelten Bedingungen montiert und mit einer 24/7-IoT-Überwachung ausgestattet, die den Differenzdruck der Filter in Echtzeit verfolgt und Ihr Team rechtzeitig warnt, bevor die Effizienz sinkt.

Als ein Schweizer pharmazeutisches Labor mikroskopische Füllungsfehler bei seinen lyophilisierten Fläschchen bemerkte, führte die Ursachenanalyse auf subtile Druckschwankungen zurück, die von hochvibrationsstarken Pumpen verursacht wurden – jeder Vibrationsimpuls, der über den Boden übertragen wurde, reichte aus, um den empfindlichen Abfüllprozess zu stören. Unsere Cleanroom-Trockenvakuumpumpe – mit aktiven magnetischen Lagerungen und einer kompositen akustischen Abschirmung – arbeitet mit nur 58 dB(A) und Vibrationswerten unter 1,0 mm/s und eliminiert bodenübertragene Impulse vollständig. Im Gegensatz zu herkömmlichen Riemenantriebspumpen, die mehr als 75 dB(A) erzeugen und voluminöse Schwingungsisolierungen erfordern, gewährleistet unser Direktantrieb mit präzisionsausgewogenen Rotoren einen besonders ruhigen, nahezu geräuschlosen Betrieb, der empfindliche Geräte in der Umgebung nicht beeinträchtigt. Jedes Gerät ist CE-zertifiziert, unter ISO 9001-Kontrollen montiert und nach ISO 21360-1 geprüft; eine 24/7-IoT-Überwachung verfolgt in Echtzeit das Vibrationspektrum, um Lagerverschleiß vorherzusagen, bevor er Ihren Prozess beeinträchtigt.