EN
Производња полупроводника: Производња са сувим вакуумским пумпама испод 10nm
Ултрависок вакуум у фотолитографији и ецу
Подне 10nm карактеристике у полупроводницима захтевају ултра високе вакуумске окружења од <10 ^ -7 mbar у екстремној ултраљубичастој литографији и плазменом ецу. Останак гасова који ометају светлосне путеве EUV и дестабилизују плазму су критични за дефинисање карактеристика у транзисторским капима и међусобној повези. Суве вакуумске пумпе уклањају гас. Напредне суве вакуумске пумпе користе механизме за превртање и ноге који су слободни од вибрација. Ово спречава погрешну излагање на реду <10nm преко силицијумских плочица. Са индустријом фокусираном на 3НМ и мање карактеристике, суве пумпе способне за УХВ су неопходне за производњу чипова следеће генерације.
Пумпе без уља: суштинска опрема за напредне чвореве и контролу контаминације
Ако се ради на атомској прецизности, чак и мали нивои загађења угљен-водом могу драстично утицати на приносе. Једина честица од једног микрона може изазвати вишеструке пропад транзистора. Проблем контаминације се ублажава коришћењем сувих вакуумских пумпа, јер њихове компресијске коморе остају без уља, елиминишући рекстрим. Ово је посебно важно за ЦВД апликације, јер присуство уља може негативно утицати на квалитет филма због интерференције са допантним гасима. Занимљиво је да су произвођачи полупроводника приметили да многи водећи производни објекти пријављују приближно 40% смањење нивоа дефеката након имплементације суве технологије. За оне који раде са технологијама мање од 7 нанометра, потпуно безмасловно функционисање је неопходно.
Напредни дисплеј и енергетски материјали: суве вакуумске пумпе за производњу ЛЕД, ОЛЕД и батерија
Кристални раст и одлагање танкофилма: монокристални силицијум и ОЛЕД ЦВД суве вакуумске пумпе
Суве вакуумске пумпе пружају неопходне услове без кисеоника за производњу монокристалног силицијума високе чистоће и депонирање ОЛЕД танких филмова. У производњи соларног силицијума чак и микроскопске количине кисеоника могу довести до распада кристалне мреже, што заузврат смањује ефикасност соларних ћелија за 5 до 8 посто. Слични изазови се суочавају са индустријом ОЛЕД-а у вези са хемијским отпадањем паре (ЦВД) ОЛЕД-ова. За ЦВД, вакуум мора бити мањи од 0,001 mbar како би се спречило оксидацију органског слоја пре формирања слојева. То може довести до лошег јединствености пиксела. За разлику од пумпа са маслом, суве пумпе не испуштају угљен-углеводе у камеру за депонирање, тако да се очува јединственост композиције депонираних танких филмова. Неки дизајни сувих пумпа типа ноктију могу да раде на 99,9% времена без честица што је од кључног значаја када се ради са квантним тачкама и микро ЛЕД масивама који захтевају контролу нивоа ангстром.
Ова прецизност омогућава произвођачима екрана да постигну изузетне спецификације у којима репродукција боја прелази 98% DCI P3 цветног простора.
Производња литијум-јонских батерија: дегазирање лужи, сушење електрода и пуњење електролита
Производња литијум-јонских батерија је тешко погођена присуством влаге, па је стога неопходна технологија вакуума без уља. У процесу мешања луге суве пумпе се ослобођују проблематичних ваздушних џебова који узрокују формирање мехура у слоју луге, што може смањити капацитет ћелије за 15%. За процес сушења електрода, вакуумске пумпе одржавају ниво влаге испод 100 ппм, чак и на 150 °C. Ово омогућава произвођачима да испаравају НМП растворивач без оштећења катеда богатих никелом. Можда је највећа предност ових вакуумских пумпа контролисано испуњавање електролитом, где прецизни, контролисани нивои вакуума омогућавају темељно испуњавање електролита малих пора у сепаратору, а минимизују литијумско покривање због заробљених мехураца гаса. Постројења за производњу батерија која су применила суво производње су смањила сувоће проблеме у циклусу сушења за 40%. Осим тога, они више не морају да се боре са контаминацијом производа због нафтне паре. На крају, пошто су суве вакуумске пумпе компатибилне са чистачким просторима, имају додатну предност да омогућавају истраживање батерија чврстог стања.
Инжењерство вакуума без бацкстрим-ин и стабилно за НИРД и производњу
Магнетроно прскање и импулсирано ласерско осађивање под 10^-6 до 10^-8 mbar
У процесима импулсног ласерског одлагања и магнетронског праштања, од кључне је важности да се имају континуирани услови вакуума у нивоу од 10 ^ -6 до 10 ^ -8 mbar. Флуктуације, чак и на нивоу од 10^-9 mbar, могу створити несавршености премаза, а током производње оптичких компоненти или суперпроводљивих материјала, то може смањити производње више од 30%. Док традиционални вакуумски системи нису могли да обезбеде заштиту од рекстреаминга, суве вакуумске пумпе су могле да понуде континуирано, без рекстреаминга и без хидрогаводорода, елиминишући контаминацију површина субстрата и искривљење одно Вакуумске пумпе су најефикасније за премазивање полупроводничких уређаја, МЕМС сензора и напредних фотоничких апликација јер је контрола реактивних гасова током процеса премаза кључна за производњу наноскал филмова са прецизном дебљином, униформизмом и адхезијом.
Виша укупна стопа прометности и знатно ниже дугорочне оперативне трошкове за објекте са прецизним операцијама премаза резултирају корисним резултатима као што су више заустављања одржавања и мање времена за чишћење.
Суве вакуумске пумпе за животне науке и ГМП усаглашеност: лиофилизација, стерилна филтрација и аналитичка инструментација
Важност сувих вакуумских пумпа у биолошким наукама не може се преувеличити, јер утицај неуспеха производа може бити животно угрожавајући. У лабораторијском окружењу, ове пумпе помажу лабораторији да управља регулаторном у складу и одржава проток рада непрекидан. У замрзавању, биолошком уклањању воде из узорка и вакуумском филтеру за ињекције дрога, дизајн без уља је критичан. Микробно раст је ризик са филтерима за лекове који садрже чак и малу количину угљен-водорода. Херметички запечаћени дизајн такође спречава повратни проток контаминаната, обезбеђујући у складу са ГМП-ом: чисте, тражеће и спремне за ревизију операције. У анализи неких инструмената, као што су масовни спектрометри, суве вакуумске пумпе се користе да би се елиминисао утицај летљивих органских једињења на мерења. Институт Понемон известио је да је у 2023. просечна цена инцидента са контаминацијом била око 740.000 долара. Важно је да ове суве вакуумске пумпе обезбеде поуздано функционисање јер неуспех може довести до значајних финансијских губитака. Осим тога, ови системи су дизајнирани за чисте собе ИСО класе 5 - 7 и обезбеђују стерилност од основног истраживања до производње.
Подела за често постављене питања
Коју сврху су суве вакуумске пумпе служе у производњи полупроводника?
Суве вакуумске пумпе су од виталног значаја за развој ултра-високих вакуумских услова за екстремне ултраљубичасте фотолитографије и плазменецхинг процесе, уклањање остатка гасова како би се обезбедила стабилна плазма и неометани EUV светло
Која је важност операције без уља у напредним полупроводничким чворима?
Рађење без уља је важно јер контаминација угљен-водородима резултат пумпа са уљем може изазвати дефекте који се, заузврат, негативно односе на приносе, као што су кратки траци у транзисторима. Због тога су суве вакуумске пумпе критичне за процесе, као што је хемијска депозиција паре.
Које су предности сувих вакуумских пумпа у производњи ОЛЕД-а и батерија?
Органични материјали у производњи ОЛЕД-а се оксидирају и као резултат тога квалитет пиксела није конзистентан, због чега се захтева производња батерија за елиминисање влаге и побољшање перформанси и капацитета ћелије олакшавањем пуњења електролита на жељени ниво. Ово је могуће само сувим вакуумским пумпама у производњи ОЛЕД-а и батерија.
Које су функције сувих вакуумских пумпа у биолошким наукама?
У биолошким наукама, суве вакуумске пумпе помажу у усклађивању са ГМП-ом пружајући окружење без контаминације за процес лиофилизације и стерилне филтрације, као и инхибирање раста микроорганизама у ињективаним лековима и заштиту рада аналитичких инстру